故障发生的部件和原因，并且做到了扫描和刻蚀的同步。
正是如此，瑞星科技公司推出的第三代光刻机做到了世界领先的程度，在浸没式光刻技术上超出了艾斯摩尔和尼康公司一大截。
现在艾斯摩尔和尼康也都是在浸没式光刻技术上进行研发，不过从得到的情报来说，这两家公司要想在这方面成熟至少还需要三年以上的时间。
也就是说现阶段只有瑞星科技公司能生产提供浸没式光刻机设备，晶圆厂要想生产更先进制程工艺只能是从杨杰的公司这里拿货。
现在瑞星科技公司的光是光刻机的订单数量已经达到了234台，如果加上刻蚀机和离子蒸镀设备等，今年的营收预计能够达到160亿美金。
瑞星科技公司能够在七年多的时间里面达到这样的营收已经是非常惊人的成就了，关键是这些设备是半导体的最核心的设备，可不是随随便便哪个国家和公司能够替代得了的。